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高中教學儀器廠家ERSelectronic公

時間:2022-08-31 13:06:48 點擊次數:426
 

慕尼黑2022年5月24日 /美通社/ -- 半導體制造業提供溫度管理解決方案的領導者——ERS electronic開發了一種溫度校準設備,該設備可以在晶圓實際針測區域進行高精確度(低至30mK)全自動測量。目前,被命名為ProbeSense?的該設備正在申請技術專利。

由一個溫度傳感器組成,安裝在晶圓探針臺的探針卡處的ProbeSense?,將在晶圓針測中,遵循探針XYZ軸的移動規律,在保證測試環境相同的情況下,對晶圓表面進行多點溫度測量。ProbeSense?將與適配板一起交付,實現與行業主流探針臺兼容的同時,滿足客戶的需要。此外,在ProbeSense?的整套裝備中還包含一個溫度測量儀器,該儀器的精確度已經預先與溫度傳感器同步校準在了mk范圍之內。

為了進一步實現測量過程無需人力操作的全自動化,探針臺中還將裝載ProbeSense?配套軟件,以在不同溫度下,針對卡盤不同位置運行測試腳本。MPI是首批在其探針臺上提供這項功能的探針臺制造商之一。

ProbeSense?很好的滿足了行業對功能性強、精確度高且易于操作的校準工具的需求,ERS electronic公司首席技術官Klemens Reitinger說。 我們堅信,已經被多家探針臺制造商采用的該全自動ProbeSense?將成為精度校準和溫度均勻性測量領域的規則改寫者。

成功將ProbeSense?集成到SENTIO?探針臺的MPI公司看到了該設備的明顯優勢:不僅操作上直觀便捷,測試速度也較快。由于其全自動的特性,還實現了夜間和周末的持續校準,從而節省了生產時間。Stojan Kanev, MPI公司總經理說, ProbeSense?的推出,正是為了更好的滿足客戶在成本控制、提高工作效率方面的需求。

ERS ProbeSense?現已接受預訂。

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